Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine

Vákuový magnetrónový naprašovací stroj

Zaslať požiadavku

Chat teraz

Predstavenie výrobku

Vákuový magnetrónový naprašovací stroj

Špecifikácia

Magnetrónový naprašovací nanášač TOB-1100X-SPC-16M využíva efekt rozprašovania produkovaný bombardovaním materiálu terča vo vákuovom prostredí, pri ktorom atómy alebo molekuly materiálu terča vystreľujú z pevného povrchu, a proces vytvárania tenkého filmu sa nanáša na substrát. Patrí do prípravy na fyzikálne naparovanie (PVD) technológiou tenkých vrstiev. Magnetrónový naprašovací nanášač TOB-1100X-SPC-16M možno použiť na prípravu vzoriek rastrovacieho elektrónového mikroskopu v laboratóriu a kompaktná veľkosť zariadenia šetrí miesto v laboratóriu; obsluha je jednoduchá a vhodná aj pre začiatočníkov.

Vlastnosti

Je vybavený meračom vákua a meračom prúdu rozprašovania, ktorý dokáže monitorovať pracovný stav v reálnom čase.
Nastavením regulátora rozprašovacieho prúdu a mikrovákuového plynového ventilu riadi tlak vákuovej komory, ionizačný prúd a vyberá požadovaný ionizačný plyn, aby sa dosiahol najlepší efekt poťahovania.
Gumový tesniaci krúžok na okraji zvonového puzdra je špeciálne navrhnutý tak, aby zabezpečil, že sklenený zvon nebude pri dlhodobom používaní odštiepený.
Vysokonapäťové elektródové armatúry s keramickým tesnením sú odolnejšie ako bežne používané gumové tesnenia.
Podľa ionizačných charakteristík plynu v elektrickom poli sa používa veľkokapacitná rozprašovacia vákuová komora a zodpovedajúca plocha rozprašovacieho terča, aby bola naprašovaná vrstva rovnomernejšia a čistejšia.
Rozprašovacia hlava využíva Peltierovu chladiacu technológiu na získanie vysoko výkonných povlakov jemných častíc.
K dispozícii sú vodou chladené rozprašovacie hlavy a vodou chladené nosné stoly.

Meno Produktu	Vákuový magnetrónový naprašovací stroj
Model produktu	TOB-1100X-SPC-16M
Inštalačná podmienka	Toto zariadenie sa musí používať v nadmorskej výške 1 000 m alebo menej, pri teplote 25 stupňov ± 15 stupňov a vlhkosti 55 % Rh± 10 % Rh. 1. voda: zariadenie musí byť vybavené voliteľným strojom na chladiacu vodu s vlastným obehom (napĺňanie čistej vody alebo deionizovanej vody) 2. elektrina: AC220V 50Hz, musí mať dobré uzemnenie 3. plyn: komora zariadenia, ktorá sa má naplniť argónom (čistota 99,99 % alebo viac), je potrebné zabezpečiť vlastnú fľašu s argónom (s redukčným ventilom) 4. Pracovný stôl: rozmer 600mm×600mm×700mm, nosnosť 50kg alebo viac. 5. Ventilačné zariadenie: nevyžaduje sa
Hlavný parameter	1. Terč: Ø50mm
	2. Vákuová komora: Ø160mm×120mm
	3. stupeň vákua: menší alebo rovný 4×10-2mbar
	4, maximálny prúd: 50 mA (voliteľne 100 mA)
	5. Limitný čas je možné nastaviť: 9999s
	6. Mikrovákuový ventil: Pripojte hadicu Ø3mm
	7. medzné napätie: 1600V DC
	8. mechanické čerpadlo: 2L/s
	9. Cieľový materiál: Požiadavka na veľkosť:φ50mm×(0.1-0,5)mm(hrúbka) Vhodné na naprašovanie Au, Ag, Cu a iných kovov (dostupné u nás)
	10. Veľkosť: 360mm×300mm×380mm Celková hmotnosť: 50 kg, Čistá hmotnosť: 15 kg