PECVD pec

1. Typ: 1200 stupňový posuvný dvojzónový systém PECVD
2. Číslo fázy: Jednofázové
3. Typ termočlánku: typ K
4. Model:TOB-DSP-1200 stupeň -PECVD
5. MOQ: 1 sada

Zaslať požiadavku

Chat teraz

Predstavenie výrobku

Dvojzónový systém PECVD s posuvným typom 1200 stupňov

Špecifikácia

Model	stupňa TOB-DSP-1200 -PECVD-I	stupňa TOB-DSP-1200 -PECVD-II		stupňa TOB-DSP-1200 -PECVD-III	stupňa TOB-DSP-1200 -PECVD-IV
Moc	3 kW	3 kW		4 kW	4 kW
Veľkosť rúry pece (mm)	Priemer 60 (VN) X 1800 mm	Priemer 80 (VN) X 1800 mm		Priemer 100 (priemer) x 1800 mm	Priemer 120 (VN) X 1800 mm
Rozmer	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Napájacie napätie	220V
Číslo fázy	Jednofázový
Režim ovládania	Yudian regulácia teploty 30 sekcií môže využívať iba reguláciu teploty PID. FP93 ovládanie teploty (z Japonska) (Nahradiť importované nástroje za príplatok) 1,40 sekcia programové ovládanie teploty je možné rozdeliť na 4,2,1 skupinový program, ak je program rozdelený do štyroch skupín, každý programový segment 10, 2,6-skupinová PID regulácia, nízka, stredná a vysoká teplota môže mať každý so sadou PID, takže každý segment je schopný regulovať teplotu veľmi presne.
Režim regulácie teploty	Inteligentné PID
Ochrana proti vyhoreniu a displej	Áno
Ochrana proti prehriatiu	Áno
Nadprúdová ochrana	Áno
Presnosť ovládania	+/- 1 stupeň
Spúšťač	Spúšť fázového posunu
SCR	106 / 16E Nemecko Simon Kang
Maximálna teplota zóny 1,2	1200 stupňov
Teplotná zóna 1,2 Menovitá teplota	1150 stupňov
Rýchlosť vykurovania	Menší alebo rovný 30 stupňom / min (k dispozícii na požiadanie úpravy)
Odporúčaná rýchlosť ohrevu	Menšie alebo rovné 15 stupňom / min
Typ termočlánku	typ K
Dĺžka ohrevu zóny 1,2	205 mm
Teplota okolia	Menší alebo rovný 45 stupňom
Plazmové RF napájanie	Rozsah výstupného výkonu		0-500W
	Maximálny odrazený výkon		10W
	Frekvencia signálu		13,56 MHz ± 0,005 %
	Hluk		<30 dB
	Chladenie vzduchom		spôsob chladenia
	Vstupný výkon		208-240V 50/60 Hz
Hlavné parametre napájacieho systému GX	Štandardný rozsah		Regulátor toku protónov 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (môžete si vybrať akúkoľvek mierku)
	Presnosť		± 1.5%
	Pokles tlaku		<0.01MPa
	Opakovateľnosť		± 0.2% F.S
	Max Prevádzkový tlak		3 MP
Výfukový systém VS-0.1	Zdroj		220V / 380V 380W
	Rýchlosť čerpania		2L / S
	Odporový vákuomer		ZDR-I
	Rozsah merania vákua		0.1-10 5 Otec
	Vákuová pumpa		VRD-8
	Vlnitá rúrka		KF25X1000mm
	Vákuový systém		10 -1Otec